3D表面轮廓仪，是以白光干涉扫描技术为基础研制而成用于样品表面微观形貌的精密仪器。白光测量的粗糙度范围从0.1nm到10μm别。面和线nm的测量可靠性，不限制材质和形状。利用光波干涉原理 将被测表面的形状误差以干涉条纹图形显示出来，并利用放大倍数高的显微镜将这些干涉条纹的微观部分放大后做测量，以得出被测表面粗糙度，能轻松测量曲面粗糙度。

　　在实际测量过程中，被测物体表面的形状可能是很复杂的曲面，这就需要将曲面分成很多小区域，逐个做测量来确定表面的整体形状。一般来说，曲面可以由一系列的平面或曲面所组成，每个小区域的表面形状都可以近似看作是一个平面或曲面。测量过程包括三个主要步骤：校准、分区和测量：

　　校准是确定测量仪器的基准，校正干涉图像；需要把白光干涉仪与标准平面进行校正。正常的情况下，使用平面玻璃作为标准平面，通过调节干涉仪的反射镜和位移镜等参数，使得干涉图像呈现出平直的垂直杆纹。

　　将被测曲面划分为若干个小区域，每个小区域都可以看成是一个平面或者一个曲面，需要依次做测量。在分区之确定分区大小，一般情况下根据曲面变动情况确定分区大小，如果曲率变化较大的地方，分区可设为得更小。

　　在分区的过程中，一定要通过调整白光干涉仪的参数，使得干涉图像呈现出垂直的杆纹，然后测量每个小区域的高度信息。在测量每个小区域时，需要确定参考面，通常能根据分区的情况选择适当的参考面，可以是标准平面或上一个分区的表面等。

　　针对叶片类曲面零部件，型号为W3的白光干涉仪能够在空间范围内实现曲面全自动测量功能，解决其形状不规则装夹不便、测量点分布不在同一个面、单次测量效率低的问题。

　　分布在0.1nm~100nm，对比市面上几种能覆盖该级别精密的检验测试仪器，目前从检测效果和操作简便上

　　、面形轮廓、表面缺陷、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、磨损情况、腐蚀情况、加工情况等表面形貌

　　的作用 /

　　有哪些功能？能做什么？ /

　　工作原理详解 /

　　有哪些？ /

　　是什么？ /

　　是一款用于对各种精密器件及材料表明上进行亚纳米级测量的检验测试仪器。可测各类从超光滑到

　　的步骤是什么？ /

　　，一直在超精密加工领域存在广泛的应用，在大部分的应用场景中，都是采用标准的

　　测量应用 /

　　能做什么丨科普篇 /

　　技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器，用于表面形貌纹理，微观结构分析，用于测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面

　　的原理和测量方法 /

　　吗？ /

　　Banana Pi BPI-M6 采用深蕾VS680芯片测试ATV系统功能# #嵌入式开发